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COBRA DS 5161/9161 B干式螺桿真空泵

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關鍵詞：干式螺桿真空泵

摘要

德國普旭 COBRA DS 5161/9161 B 干式螺桿真空泵，4300-6160 m3/h 高抽速搭配 0.001 hPa 極限真空。干式無油設計污染，專利螺桿抗腐蝕防沉積，水冷控溫穩(wěn)定。集成羅茨泵強化性能，<75dB 低噪運行，長保養(yǎng)周期降成本，適配半導體、光伏等嚴苛工藝。

產品介紹

COBRA DS 5161/9161 B干式螺桿真空泵

干式螺桿真空泵

技術規(guī)格

ISO 50 HzISO 60 HzUS 60 Hz

干式螺桿真空泵

尺寸圖

COBRA DS 5161/9161 B

干式螺桿真空泵

抽速

空氣溫度為 20°C 時，公差：± 10%

干式螺桿真空泵

COBRA DS 5161/9161 B 干式螺桿真空泵：制造的真空解決方案

德國普旭 COBRA DS 5161/9161 B 干式螺桿真空泵憑借技術性能，成為半導體、光伏等制造領域的核心設備。其 4200-6160 m³/h 的高抽速與 0.001 hPa 的極限真空度，能在 30 分鐘內打造超高潔凈真空環(huán)境，滿足嚴苛工藝需求。

采用創(chuàng)新干式無油設計，搭配可鍛鑄鐵基材與特殊鉭涂層螺桿，形成雙重防護，油污染風險，適配光刻、PECVD 鍍膜等超高潔凈要求的制程。專利螺桿結構具備超強抗腐蝕與防沉積能力，可穩(wěn)定處理含微粒、水汽及腐蝕性氣體的復雜工況，大幅減少停機清理時間。

集成羅茨真空 booster 技術，在高真空區(qū)仍保持強勁抽速，配合 3600 min?¹ 的高轉速電機，顯著縮短工藝周期。水冷系統(tǒng)實現控溫，確保設備長時間穩(wěn)定運行，延長使用壽命。

智能節(jié)能表現突出，通過恒速 / 壓力控制雙模式切換及 ECO 算法，較傳統(tǒng)設備節(jié)能達 50%。75dB 低噪運行與緊湊設計，節(jié)省安裝空間并改善車間環(huán)境。長保養(yǎng)周期與模塊化結構降低維護成本，加上 ATEX 防爆認證，可安全應用于化工、醫(yī)藥等危險工況。

從光伏電池片生產到鋰電池干燥，從半導體蝕刻到醫(yī)藥凍干，這款真空泵以德國制造的精密品質與服務網絡，為各行業(yè)提供穩(wěn)定可靠的真空解決方案。

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